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一體化的 Calotte 裝載機

產品類別:半導體自動化生產設備

產品型號:

產品描述:

全自動系統,可以在晶圓盒和callotes之間傳送晶圓    精確地放置,通過自動位置測量和自動化指導,實現卓越的操作精度和重復性    多功能性,分段掃描映射可以自動檢測不同的分段類型和不同calotte類型    主機通知, 晶圓ID,晶圓盒 ID,段位ID以及段內位置    滿足處理要求的最高可靠性    吞吐量最大化全速傳輸時240 wph    下料模式時為240 wph    上料模式為160wph    機電一體化元件和技術可以更大限度地提高晶圓的安全性。

服務熱線:400-630-6556

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  • 產品參數
  • X-ray成像

全自動系統,可以在晶圓盒和callotes之間傳送晶圓

[敏感詞]地放置,通過自動位置測量和自動化指導,實現卓越的操作精度和重復性

多功能性,分段掃描映射可以自動檢測不同的分段類型和不同calotte類型

主機通知, 晶圓ID,晶圓盒 ID,段位ID以及段內位置

滿足處理要求的[敏感詞]可靠性

吞吐量[敏感詞]化全速傳輸時240 wph

下料模式時為240 wph

上料模式為160wph

機電一體化元件和技術可以更大限度地提高晶圓的安全性。

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