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產品類別:半導體自動化生產設備
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?使用伯努利手指,對應8吋和12吋的標準片。 ?使用兩套轉運機構,對應3種晶圓隔紙。 ?具備晶圓翻轉功能。 ?具備晶圓校準功能。 ?具備晶圓單面讀碼功能。 ?設備內部采取防靜電設計。 ?工作狀態監視器視頻可保存4周
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